它是蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的明星產(chǎn)品,也是精準(zhǔn)測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)。計(jì)算機(jī)輔助精度(CAA)可校正機(jī)器上的所有動(dòng)態(tài)影響,即使在高速掃描期間也能優(yōu)化精度。蔡司PRISMO可用于進(jìn)行要求公差為1微米或更小的測(cè)量任務(wù)
[Text] 得益于優(yōu)化的氣浮軸承集成,浮動(dòng)的ZERODUR®量程和熱彎曲校正,蔡司PRISMO fortis可在高達(dá)37°C(可選40°C)的溫度下保證高度的精度。因此,蔡司PRISMO fortis可以集成到生產(chǎn)區(qū)域,而無(wú)需額外投資溫控測(cè)量外殼。即使使用自動(dòng)加載系統(tǒng)也不會(huì)損失測(cè)量體積,因?yàn)榭蛇x的U形花崗巖臺(tái)面與加載系統(tǒng)處于同一高度。
通過(guò)使用ZERODUR®量程和先進(jìn)的CAA校正,蔡司PRISMO verity所提供的結(jié)果的不確定性可低至0.7 + L /400μm。蔡司PRISMO verity可用于溫度控制的測(cè)量室,它符合德國(guó)VDI / VDE 2627“3級(jí)”標(biāo)準(zhǔn)。空調(diào)室的溫度保持在19°至22°C之間,適合所有測(cè)量任務(wù)。憑借改進(jìn)的表格測(cè)量值,蔡司PRISMO verity是同類產(chǎn)品中的優(yōu)質(zhì)機(jī)器。
蔡司PRISMO ultra測(cè)量誤差僅為0.5 + L / 500微米,它進(jìn)一步提高了蔡司PRISMO的精度。通過(guò)更為精準(zhǔn)的量程,優(yōu)化的氣浮軸承設(shè)計(jì),額外的CAA校正,氣浮減振技術(shù)和所有組件更為嚴(yán)格的適配獲得優(yōu)異的測(cè)量精度。蔡司PRISMO ultra適用于需要實(shí)現(xiàn)高度精度的任務(wù),例如研究、開發(fā)、質(zhì)量保證以及儀表或測(cè)試樣品的校準(zhǔn)。